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嵌入式膜厚檢測儀

嵌入式膜厚檢測儀

產(chǎn)品信息 特 點(diǎn) 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(專利 第4834847號) 使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng) 可嵌入至各種制造設(shè)備。 實時測量膜厚 可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點(diǎn)測量...

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產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品信息
  • 設(shè)備構(gòu)成
  • 測量案例

產(chǎn)品信息

特 點(diǎn)

● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(專利 第4834847號)

● 使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)

● 可嵌入至各種制造設(shè)備。

● 實時測量膜厚

● 可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點(diǎn)測量

● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源

測量項目

多層膜厚解析

用 途

光學(xué)薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)

FPD相關(guān)(光刻膠、SOI、SiO2等)


設(shè)備構(gòu)成

單點(diǎn)型

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半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量

玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點(diǎn)型

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            實時測量

            流向品質(zhì)管理

            真空室適用

導(dǎo)線型

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            實時測量

            寬度方向品質(zhì)管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

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設(shè)備構(gòu)成

單點(diǎn)型

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半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量

玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點(diǎn)型

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            實時測量

            流向品質(zhì)管理

            真空室適用

導(dǎo)線型

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            實時測量

            寬度方向品質(zhì)管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

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